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Power Member
 加入日期: May 2001 您的住址: 台北
文章: 597
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2024-11-16 Canon 最新技術的 NIL 奈米壓印微影是什麼？EUV 曝光機是否將被全面取代？
NIL 技術是什麼？和傳統光學微影技術有什麼差別  -------- 這nil 有沒有搞頭呢?
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2025-03-10, 07:16 PM
#11
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Senior Member
加入日期: Apr 2017 您的住址: (╯-_-)╯ ~ ╩╩
文章: 1,394
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EUV光源是比較好解決的,就是個物理光源問題.
比較大的問題應該是鏡片, 但是這個問題在哈蘇被大疆入主後, 就不是問題了. 其他的都是物理化學與材料問題. |
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2025-03-10, 07:46 PM
#12
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