就不夠用啊

ASML有公開資料表示假使一個月需要生產45000片晶圓，所有晶圓以單層EUV計，就需要一台EUV

而一般5nm會用上十來層(整個製作層數大約百來層，euv關鍵層只占這裡面大約1~2成左右，其他層數是由duv機台負責)，3nm就需要約20層，所以光是手持個幾台根本光調適研究用就不夠了，更不用說拿去量產


tsmc每年默默在那邊砸錢買大量EUV，累計下來已手持破百台以上，自然不用急著跟進


INTEL打從時間點定太早把籌碼擺在High-NA上時，就已經種下自爆的因子了