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Golden Member
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引用:
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作者skap0091
你真的有了解台積電以往的話就不會說出這種話
1.台積電用DUV生產7nm你知道嗎？
那是跟中芯類似的多重曝光技術，步驟繁雜
後續改良7nm才導入EUV，比三星還晚
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引用:
挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程
2021-02-15
https://technews.tw/2021/02/15/euv-...phy-technology/
量產的要求極高，要知道 EUV 微影技術的種種瓶頸，就必須在當時僅有的 EUV 微影設備上做實驗。
2006 年，標誌著 EUV 實驗室研發階段的結束。 那年，我現在的東家 ASML 交出了兩台 EUV 樣機，
叫做 Alphademo tool （ADT）。 其中一台由紐約州的 Albany 奈米中心獲得，另一台落戶比利時
微電子研發中心（imec）──ASML 的長期合作夥伴。因為台積電是 imec 的「核心夥伴」成員，
我派了一位微影技術專家去那裡蹲點。 儘管那台樣機故障頻頻，但從他寄回來的晶片中，我們看到了
一線希望，決定繼續往下走。
2013 年十月底，我們的第一台 NXE：3300 開始曝光，但從十一月開始的好長一段時間，光源的功率
都無法超越 10 瓦。透過不斷的實驗，到了 2014 年第二季，功率爬到了 40 瓦左右。 然後接著一連串
的實驗都沒法讓它繼續提升：主要表現在高於 40 瓦輸出功率的穩定性欠佳。 整個夏天，我們和 ASML
在新竹、荷蘭、美國不停地做實驗。
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台積電研發很積極
採購也很積極
在市場推出的時間晚
不代表開始研發的時間也晚
以前拿不到機器
派人過去摸也要摸到
還能包下一年ASML EUV設備90%以上的產能
現在?
我是真的覺得跟以前不一樣
當然也可能是我認知有限的錯誤判斷 |