引用:
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作者healthfirst.
不過聯合報連名詞都照搬.......
「光刻膠」是大陸用語
台灣用語是「光阻劑」
「光刻機」也是大陸用語
台灣用語是「曝光機」
台灣都被對岸用語文化入侵了
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https://ec.ltn.com.tw/article/paper/1525637
引用:
國教院︰我譯名早於中國 將再討論
對此，國家教育研究院副院長顏慶祥說明，Photolithography學術名詞的中文翻譯，在資訊與通信術語辭典及電子計算機名詞等領域，約自二○○一年以前即翻譯為「光刻」，沿用至今；而依國教院調查確認，中國使用光刻此一名詞是在我國（二○○一年）定稿後才出現。後續國教院將針對此一學術名詞的中文翻譯，提交資通辭典委員會進一步討論。
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Photolithography 翻成「光刻」我覺得沒問題。
不過這是整個製程。
我以前學到的傳統半導體製程，曝光和蝕刻是由不同的機台負責，
蝕刻要看吃的那一層材料是什麼，有不同的蝕刻方法及機台。
只負責曝光的機台叫光刻機的確是怪怪的。
台積電和 ASML 合作的機台如果是整套曝光蝕刻整合在一起，那叫光刻機的確沒問題。
只有曝光的話，還是叫曝光機比較適合。