多重電子束和雙重曝光都確定出局了是嗎？
EUV的成本實在太高了，現在還要和三星共同分享技術？
蔣爸也說過tsmc在雙重曝光微影技術有進展，但可能到14nm又會碰到瓶頸，來看tsmc如何解決。