瀏覽單個文章
chopper
Major Member
 
chopper的大頭照
 

加入日期: Feb 2004
文章: 145
引用:
作者迷路中麋鹿
老實講我不懂??

為什麼不作成方形,而是圓形的晶圓

圓形的擺方形電路,那剩下的邊邊角角不就都浪廢了嗎??

就我所知,wafer 作成圓形的目的是為了讓光阻從wafer 中心注入,再利用離心力將光阻均勻塗布在wafer,可使光阻的用量降至最低,節省光阻材料費用。
這些省下的光阻費用,來彌補邊角的浪費應該是非常划算的。
而面板因為形狀的關係一定是方形的,其光阻塗布無法運用離心力,在材料上就會比較浪費。
現在wafer 尺寸越作越大,也是為了使一道製程能在一片wafer 上做出更多的晶片,就能降低更多的製程成本。
當然製程良率越高,成本就越低囉。

話說...我似乎回覆的太正經了點...
__________________
水樹奈ぼ
舊 2012-05-16, 09:40 PM #45
回應時引用此文章
chopper離線中