作者szerelem

半導體廠的PVD機台的cryo pump都能抽到-8~-9torr

學校實驗室的機器,我看過的說抽不下去的大多是因為機構本身就沒有那麼好的密合度
加上可能沒有用cycle purge跟bake out來加速去除outgassing...
當然本身很可能機台只有dry pump連turbo pump都沒有的話...抽氣能力有限,-5很不錯了