引用:
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作者oversky
真空鍍膜。有時設備狀態好時，只要半天就可以抽到 10^-5，
不過有人實驗習慣不好，沒有保持好設備的潔靜度，
就要抽個一天甚至兩天。
所以我才在想塞個人進去，
還要抽到 10^-10 torr ，
這要抽多久才㣔。
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半導體廠的PVD機台的cryo pump都能抽到-8~-9torr
學校實驗室的機器,我看過的說抽不下去的大多是因為機構本身就沒有那麼好的密合度
加上可能沒有用cycle purge跟bake out來加速去除outgassing...
當然本身很可能機台只有dry pump連turbo pump都沒有的話...抽氣能力有限,-5很不錯了