從0.13到0.11不能按照比例縮﹐0.11的製成還是在利用0.13的設備在做。一般是把mask縮小﹐裡頭的原件大小還是差不多﹐應該可以省5-10%的die空間。

如果真要按照比例縮﹐要全新的設備﹐90nm才有機會