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引用:
基於科學的精神嘛... :laugh: |
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明明是七八區,幹嘛那麼認真呢 :laugh: |
![]() ![]() :D :D :D :D :D |
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半導體廠的PVD機台的cryo pump都能抽到-8~-9torr :p 學校實驗室的機器,我看過的說抽不下去的大多是因為機構本身就沒有那麼好的密合度 加上可能沒有用cycle purge跟bake out來加速去除outgassing... 當然本身很可能機台只有dry pump連turbo pump都沒有的話...抽氣能力有限,-5很不錯了 |
引用:
為了維持壓力穩定我記得是內循環式的 所以真空、低溫問題大致解決了.... 被打下去後應該也不用計較高溫問題 :laugh: 反正只要支撐到打中那時就好 :laugh: :laugh: |
引用:
好認真 :laugh: :laugh: |
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這是冷凍乾燥吧 直接將固態水變成氣態抽出 要作人乾可以考慮 (光想就覺得很噁心) |
引用:
看到我同事的名字了 :laugh: :laugh: :laugh: |
引用:
因為它們實驗室不是做MBE,ALD...不然抽到10^-11 torr也沒問題 |
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